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聚焦于化合物半导体
外延装备的研发及应
用
Focus on R&D and application of compound semiconductor epitaxial equipment
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致力于成为世界上最好的化合物半导体装备公司
To be the world leading compound semiconductor equipment manufacture
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致力于成为世界上最好的化合物半导体装备公司
To be the world leading compound semiconductor equipment manufacture
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先为科技
为客户创造价值,成就客户
无锡先为科技有限公司(简称“先为科技”)成立于2020年12月,是一家化合物半导体外延设备的研发、制造与销售的创新型和科技型企业,为全球客户提供高端化合物半导体外延设备与服务,致力于成为世界上最好的化合物半导体装备公司。
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60
%+
硕博研发占比
50
%+
研发人员占比
90
+
项专利申请
1
亿+
注册资本
30
年+
知名半导体设备研发经验
国内领先的GaN MOCVD、SiC Epi设备制造商
01.
GaN MOCVD
BrillMO系列金属有机化合物化学气相沉积镀膜系统适用于6英寸和8英寸功率芯片、射频芯片、Micro LED芯片的GaN外延制造。利用特有的温场和流场设计,具有成膜质量高,产能高,使用成本低等优势,为GaN外延加工提供完备的解决方案。
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技术特点
8英寸晶圆(兼容6英寸晶圆)MOCVD外延设备,适用于均匀性、颗粒度要求较高的工艺需求
独家专利的自公转基座和喷嘴技术,保证沉积的速率和均匀性
可同时搭载2个独立运行的外延腔室
正向研发、拥有自主可控的知识产权
集成自清洁功能,极大的降低COO
SiC Epi外延设备
02.
SiC Epi外延设备
BriSCore系列化学气相沉积镀膜系统采用创新的批量式腔体设计,可同时加工15片6英寸晶圆,适用于6英寸和8英寸碳化硅功率芯片的外延制造,具有产能表现优异,使用成本低等优势,为SiC外延加工提供优质的、有竞争力的量产解决方案。
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技术特点
适用于6”&8”的全自动碳化硅外延生长设备
独特的进气与加热方式;优异的温场及流场表现
精准实时的机台状态监控,工艺稳定性高
可实现低成本、高质量、高产出的外延生产;目前市场上最高的单机产能,整体性能优异
01
/02
GaN MOCVD
BrillMO系列金属有机化合物化学气相沉积镀膜系统适用于6英寸和8英寸功率芯片、射频芯片、Micro LED芯片的GaN外延制造。利用特有的温场和流场设计,具有成膜质量高,产能高,使用成本低等优势,为GaN外延加工提供完备的解决方案。
02
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SiC Epi外延设备
BriSCore系列化学气相沉积镀膜系统采用创新的批量式腔体设计,可同时加工15片6英寸晶圆,适用于6英寸和8英寸碳化硅功率芯片的外延制造,具有产能表现优异,使用成本低等优势,为SiC外延加工提供优质的、有竞争力的量产解决方案。
GaN MOCVD BrillMO 系列
BrillMO系列金属有机化合物化学气相沉积镀膜系统适用于6英寸和8英寸功率芯片、射频芯片、Micro LED芯片的GaN外延制造。利用特有的温场和流场设计,具有成膜质量高,产能高,使用成本低等优势,为GaN外延加工提供完备的解决方案。
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SiC Epi BriSCore 系列
BriSCore系列化学气相沉积镀膜系统采用创新的批量式腔体设计,可同时加工15片6英寸晶圆,适用于6英寸和8英寸碳化硅功率芯片的外延制造。具有产能表现优异,使用成本低等优势,为SiC外延加工提供优质的、有竞争力的量产解决方案。
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GaN MOCVD
BrillMO 系列
SiC Epi
BriSCore 系列
新闻资讯
公司动态
展会信息
2024-11-14
先为科技邀您相约IFWS 2024第十届国际第三代半导体论坛
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2024-11-08
先为科技精彩亮相SEMI-e 2024,重磅产品助力产业发展
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荣获年度品牌奖项,先为科技精彩亮相IFWS&SSLCHINA2024
2024-11-22
先为科技与您相约CICD2024第26届集成电路制造年会
2024-11-08
展会回顾 | 先为科技精彩亮相CS China 2024 常州大会
2024-11-04
先为科技邀您相约2024化合物半导体先进技术及应用大会
2024-10-25
逐浪千帆过,端午祈安康
2024-06-10
01
02
03
04
其它定制开发设备
公司以现有技术为基础,不断集聚半导体优秀人才,围绕国产化替代的战略需求,结合化合物领域最前沿的技术发展趋势和市场需求,
为客户提供合作开发的服务,从而为客户提供全方位的解决方案。
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